检测器直接测定的是元素x射线荧光的强度，而我们关心的是元素的含量。利用x射线荧光的强度与元素含量存在比例关系，我们通过测定已知含量的标准样品建立工作曲线(安装工程师设定)，再根据待测样品的x射线荧光的强度通过计算机自动换算为含量值。
能量色散x射线荧光光谱仪，利用脉冲高度分析器进行能量色散的x射线荧光光谱仪公与波长色散x射线荧光光谱仪相比，它的结构简单。可使用小功率x射线管激发和简单的分光系统。
x射线荧光光谱仪是一种可以对多元素进行快速同时测定的仪器。试样受x射线照射后，其中各元素原子的内壳层（k，l或m层）电子被激发逐出原子而引起电子跃迁，并发射出该元素的特征x射线荧光。每一种元素都有其特定波长的特征x射线。能散型x射线荧光光谱仪（edxrf）利用荧光x射线具有不同能量的特点，由探测器本身的能量分辨本领来分辨探测到的x射线。
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